CT扩散炉热电偶_扩散炉多点热电偶_石英管热电偶

更新:2015-12-5 20:52:05 点击:
  • 产品品牌 SOKE FEENEY
  • 产品型号 WRP系列铂铑热电偶
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产品介绍

扩散炉热电偶


    半导体专用测温仪表扩散炉热电偶分为:多晶铸锭炉热偶、扩散炉专用热电偶、铸锭炉热电偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多点式扩散炉热电偶等,各种产品形态不一,大小与结构也尽不相同。做为高精度扩散炉热电偶来说,为各大光伏产业带来了许多帮助。该产品为了生产加工PECVD的隔离导电性,外表的绝缘采用透明高纯度石英管或高纯度99%刚玉管制造而成,采用多个点位精确测量,也有用户采用多点测量法计算出炉内的平均值从而获得应有的数据。

    温度测量在0~1800℃中使用,测量点分为单点和多点,最高点可达8个点的测量,精度符合国际标准,工业等级I级,1500度误差2℃不到,精度相当高,完全代替进口产品。扩散炉热电偶用于光伏产业、半导体的开发与研制、科研领域、军工单位、进口设备(如:Centrotherm扩散炉设备、ALD真空感应炉、GT Solar 的 DSS 炉等)、烧结炉、退火炉、真空炉、氧化炉、扩散炉等,可溶化多晶硅、生长多晶硅锭、单晶硅、非晶硅、无定形硅和玻璃等工艺测温。


技术参数:
1、符合IEC584 GB/T18404-2001标准

2、精度等级:CLASS-A:0.25% ;CLASS-B:0.5%

3、Spike TC是用来测量与控制炉管外的各点温度

4、profile TC与Paddle TC是用来测量与控制炉管内各点温度

5、与spike和profile配套使用,可自动切换方式进行控温

6、寿命长、精度高、稳定性好、交货期短、可完全代替进口

7、扩散炉热电偶总长含头1750mm。(5点长:1700、1530、1200、870、700)


扩散炉热电偶产品选型:

    扩散炉炉外热电偶(可带螺纹、法兰、裸露式):

NAME

Spike TC  (group :1、2)

TYPE

SKFN-Spike TC

SKFN-Spike TC

SKFN-Spike TC

SKFN-Spike TC

GRADUATION

B-type

S-type

R-type

K-type

QUALITY

刚玉管、陶瓷管、石英管、钼管

SPEC

Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0 mm

RANGE

0~1800℃

0~1600℃

0~1600℃

0~1300℃

SENSITIVITY

5s≤

5s≤

8s≤

10s≤

THERMAL ERROR

1.0

1.2

1.5

2.0℃

USE

真空炉、氧化炉、扩散炉

FIRM NAME

铂铑热电偶、扩散炉热电偶、专用热电偶


    扩散炉炉内热电偶(炉内、炉外):

NAME

profile TC  (point :1、3、5、8)

TYPE

SKFN-profile TC1、SKFN-profile TC3、SKFN-profile TC5、SKFN-profile TC8

GRADUATION

B-type

S-type

R-type

K-type

QUALITY

刚玉管、陶瓷管、石英管、钼管、钨管

SPEC

Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm

RANGE

0~1800℃

0~1600℃

0~1600℃

0~1300℃

SENSITIVITY

5s≤

5s≤

8s≤

10s≤

THERMAL ERROR

1.0

1.2

1.5

2.0℃

USE

烧结炉、退火炉、真空炉、氧化炉、扩散炉

FIRM NAME

石英热电偶、多点热电偶、扩散炉热电偶、贵金属铂铑热电偶


    扩散炉炉内外热电偶(铠装式、炉内、炉外、可弯曲):

NAME

Paddle Tc  

TYPE

SKFN-Paddle Tc

GRADUATION

B-type

S-type

R-type

K-type

QUALITY

GH3039、GH3030

SPEC

Φ2.0、Φ2.5、Φ3.0、Φ3.2、Φ4.0、Φ5.0、Φ6.0、Φ8.0、Φ10.0mm

RANGE

0~1300℃

SENSITIVITY

5s≤

5s≤

5s≤

6s≤

THERMAL ERROR

1.0

1.2

1.5

2.0℃

USE

真空炉、氧化炉、扩散炉

FIRM NAME

铠装铂铑热电偶、扩散炉热电偶、微细铠装铂铑热电偶

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